本計畫旨在開發一種使用成像橢圓偏振儀的平面光學元件無損檢測系統。該系統將從1D光柵、2D光柵、超光柵和超透鏡等元件中收集反射和衍射光。我們將使用嚴格耦合波分析（RCWA）方法和遺傳演算法（GA）方法，從收集的光學響應中重建這些元件的關鍵尺寸。專案將持續12個月，分為設計、建置、測試和優化階段。其中設計階段包括嚴格的理論計算和數值模擬，建造階段將包含採購必要的材料和零件用於組裝設備，並對其進行標定校準保證測量精確。測試階段將涉及從各組件中收集和分析光學的響應數據。優化階段將基於測試結果完善改進重構方法。本計畫的益處顯著，將提供一種無損檢測方法，提高精度，簡化檢測過程，並有助於推動光學技術的發展。
