可生产的微机电器件的设计与製作方法: (1)一个可製造的微机电扫描镜片
ART/071CP
20090916 - 20110315
7170
李致淳博士
1.“Fabrication-able” electrostatic scanning mirror design rules and process control methods
2. A functional bi-axial Lissajous MEMS scanning mirror prototype
Applicable to image projection with a WVGA (800*480) resolution
北京金石工贸公司 [赞助机构]
COVENTOR Inc [赞助机构]
Foryou Multimedia Electronics Co. Ltd.
Minami Electronics Ltd.
中国电子科技集团公司第二十四所 [赞助机构]
本计划的目的在於利用一个微机电扫描镜片器件之稳定製作需求来发展一套可製作的微机电器件设计方法。透过这一个双轴微机电扫描镜片器件之模组过程我们尝试印證计划中开发出来的设计规範, 以及主要的製程掌控方法包括电脑模拟，测试结构及位置，和製程与材料组合之考量。在未来之应用中，微机电扫描镜片器件将成为一个关键性的光学零件使用在中度至高度影像标準之影像扫描及扫描式投影应用。微机电扫描镜片器件应用於视域系统如车头资讯平视显示器、微型投影显示器、头戴式显示器和虚拟真像显示器估计将会达到普遍、广泛地使用於每个人的日常生活中。 为了开发此微机电扫描镜片器件之模组，一个稳定而有规模的供应商或製程代工厂必须要首先确认，并且此厂商之製程、製程能力及设计局限必须清楚整合。在与代工厂商之合作中，将要建立对製程有关係之尺寸操控、机械特性操控、动力操控以及电机动态操控之控制方法。我们亦同时希望能联结大学和工业夥伴来密切合作而探索研究需要更高整合之微机电作动器，就如电磁机动马达。在本计划进行中，应用科技研究院将同时寻求能儘快技转到业界的途径，并透过与大中华区各学术界及业界的合作继续推进微机电的前瞻性。