可生產的微機電器件的設計與製作方法: (1)一個可製造的微機電掃描鏡片
ART/071CP
20090916 - 20110315
7170
李致淳博士
1.“Fabrication-able” electrostatic scanning mirror design rules and process control methods
2. A functional bi-axial Lissajous MEMS scanning mirror prototype
Applicable to image projection with a WVGA (800*480) resolution
北京金石工貿公司 [贊助機構]
COVENTOR Inc [贊助機構]
Foryou Multimedia Electronics Co. Ltd.
Minami Electronics Ltd.
中國電子科技集團公司第二十四所 [贊助機構]
本計劃的目的在於利用一個微機電掃描鏡片器件之穩定製作需求來發展一套可製作的微機電器件設計方法。透過這一個雙軸微機電掃描鏡片器件之模組過程我們嘗試印證計劃中開發出來的設計規範, 以及主要的製程掌控方法包括電腦模擬，測試結構及位置，和製程與材料組合之考量。在未來之應用中，微機電掃描鏡片器件將成為一個關鍵性的光學零件使用在中度至高度影像標準之影像掃描及掃描式投影應用。微機電掃描鏡片器件應用於視域系统如車頭資訊平視顯示器、微型投影顯示器、頭戴式顯示器和虛擬真像顯示器估計將會達到普遍、廣泛地使用於每個人的日常生活中。 為了開發此微機電掃描鏡片器件之模組，一個穩定而有規模的供應商或製程代工廠必須要首先確認，並且此廠商之製程、製程能力及設計局限必須清楚整合。在與代工廠商之合作中，將要建立對製程有關係之尺寸操控、機械特性操控、動力操控以及電機動態操控之控制方法。我們亦同時希望能聯結大學和工業夥伴來密切合作而探索研究需要更高整合之微機電作動器，就如電磁機動馬達。在本計劃進行中，應用科技研究院將同時尋求能儘快技轉到業界的途徑，並透過與大中華區各學術界及業界的合作繼續推進微機電的前瞻性。