以接枝聚合物作為矽通孔絕緣材料的技術開發

以接枝聚合物作為矽通孔絕緣材料的技術開發

  • 以接枝聚合物作為矽通孔絕緣材料的技術開發
    ARD/169
    20160331 - 20161230
    2800

    孫耀峰博士
    Dr Wenwei ZHENG Dr Daniel SHI Ms Sidar LAI Dr B XIE Dr CW CHAN Dr KW HAU Dr MJ XU Mr SK YAU Dr S XU Dr HL WU Mr PK CHEUNG Mr SY LAO Mr HF FU Mr Jason JI Mr WK LUK Ms KW KO