本项目旨在开发一种使用成像椭圆偏振仪的平面光学元件无损检测系统。该系统将从1D光栅、2D光栅、超光栅和超透镜等元件中收集反射和衍射光。我们将使用严格耦合波分析（RCWA）方法和遗传算法（GA）方法，从收集的光学响应中重建这些元件的关键尺寸。项目将持续12个月，分为设计、构建、测试和优化阶段。其中设计阶段包括严格的理论计算和数值模拟，构建阶段将包含采购必要的材料和部件用以组装设备，并对其进行标定校准保证测量精确。测试阶段将涉及从各组件中收集和分析光学的响应数据。优化阶段将基于测试结果完善改进重构方法。本项目的益处显着，将提供一种无损检测方法，提高精度，简化检测过程，并有助于推动光学技术的发展。
