應科院的三維機器視覺系統(三維錫膏檢測3DSPI,三維自動光學檢測3DAOI)是採用數字投影技術開發的一種快速高精度三維視覺系統。該系統可以在SMT生產過程中高效地檢測缺陷,。提升質量,降低誤判率該系統的主要創新特點包括:(1)100%無陰影的多投影系統;(2)多頻調製相位;(3)快速多相位整合算法。
技術優勢

- 三維數位投影技術,客製化LCoS /DLP投影光
- 全數字化條紋生成
- 多頻率條紋調製
- 高動態範圍圖像補償技術
- 全球性、快速、高精度、大範圍

精確調製的高分辨率數字投影條紋,配合曝光時間的校準,完美克服引腳反光的盲點。
四投影多角度照射(AOI),以消除陰影區域。
高速高精度算法,高度信息覆蓋所有像素點,全板掃描協助檢測各類元件與引腳缺陷。
產品指標
SPI | AOI | |
FOV(單個視野)範圍 | 25mm x 20mm | 60mm x 48mm |
高度監測範圍 | <800um | <10mm |
高度檢測分辨率 | 0.37um | 1.2um (<2mm), 6.3um (<10mm) |
高度檢測精度 | +/- 2um | +/-20um (<2mm), +/-100um (<10mm) |
投影頭分辨率 | 1280×1024 | 1280×1024 |
對比度 | 500:1 | 450:1 |
亮度(ANSI流明) | 20lm/5W | 20lm/5W |
刷新頻率 | 180f/s | 180f/s |
灰度曲綫 | 綫性灰度分佈(0-255) | 綫性灰度分佈(0-255) |
投影頭長寬高 | 270cm x 146cm x 231cm | 180cm x 110cm x 100cm |