应科院的三维机器视觉系统(三维锡膏检测3DSPI,三维自动光学检测3DAOI)是采用数字投影技术开发的一种快速高精度三维视觉系统。该系统可以在SMT生产过程中高效地检测缺陷,提升质量,降低误判率。该系统的主要创新特点包括:(1)100%无阴影的多投影系统;(2)多频调制相位;(3)快速多相位整合算法。
技术优势

- 三维数位投影技术,客制化LCoS /DLP投影光
- 全数字化条纹生成
- 多频率条纹调制
- 高动态范围图像补偿技术
- 全域、快速、高精度、大范围

精確調製的高分辨率數字投影條紋,配合曝光時間的校準,完美克服引腳反光的盲點。
四投影多角度照射(AOI),以消除阴影区域。
高速高精度算法,高度信息覆盖所有像素点,全板扫描协助检测各类元件与引脚缺陷。
产品指标
SPI | AOI | |
FOV(单个视野)范围 | 25mm x 20mm | 60mm x 48mm |
高度监测范围 | <800um | <10mm |
高度检测分辨率 | 0.37um | 1.2um (<2mm), 6.3um (<10mm) |
高度检测精度 | +/- 2um | +/-20um (<2mm), +/-100um (<10mm) |
投影头分辨率 | 1280×1024 | 1280×1024 |
对比度 | 500:1 | 450:1 |
亮度(ANSI流明) | 20lm/5W | 20lm/5W |
刷新频率 | 180f/s | 180f/s |
灰度曲线 | 线性灰度分布(0-255) | 线性灰度分布(0-255) |
投影头长宽高 | 270cm x 146cm x 231cm | 180cm x 110cm x 100cm |